半导体设备行业专题报告:HBM,堆叠互联,方兴未艾

HBM制造流程主要包括TSV、Bumping/Stacking和KGSD测试三个环节:3D堆叠方式允许芯片在垂直方向上连接,大大增加了单位面积内的存储密度和带宽,每一层通过硅通孔和微凸点互连技术与其他层连接,互联技术尤为重要。

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