ASM早期以CVD技术起家，后通过收购发展为全球ALD&碳化硅外延设备巨头。从1990年代起，ASM开始专注于ALD设备的研发和商业化应用。在1994年和2004年，ASM分别收购了ASM Microchemistry（专注于ALD设备的研发）和ASM Genitech Korea（专注于PEALD设备的研发）。到了2007年，公司的Pulsar ALD设备成为全球首个用于大规模生产采用新型铪基High-K介电材料器件的系统，由此确立了其作为全球最大的ALD设备供应商的地位，市场占有率超过50%。进入2020年代后，ASM进一步拓展业务，将碳化硅外延设备作为公司的第二增长曲线。2022年，公司收购了位于意大利的LPE公司，正式进入碳化硅外延设备市场。电动汽车市场的快速增长，成为了推动这一市场迅速扩张的主要动力。
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亦朵智库 » 海外半导体设备巨头之先晶（ ASM ）公司研究：深耕薄膜沉积&外延设备，专业化布局的半导体设备龙头
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